當擴散泵油被電爐加熱時，產生油蒸氣沿著導流管經傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機械泵提供的真空（Pa），故油蒸氣流可噴出一長段距離，構成一個向出氣口方向運動的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結為液體流回蒸發器，即靠油的蒸發 噴射 凝結重復循環來實現抽氣。由進氣口進入泵內的氣體分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運動的動量向下飛去。由于射流具有高流速（約200m/s），高的蒸氣密度，且擴散泵油分子量大（300～500），故能有效地帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機械泵抽走。