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概述
SP Speedivalves（帶氟橡膠或丁腈橡膠隔膜）是密封的管線隔離閥，采用薄膜和閥座布置，可用在不平整、不清潔的系統中。這種閥配有位置指示器，僅適用于管線安裝。
IBV 球閥具備實用的日常功能，此外還采用高規格設計，因此易于使用，經濟劃算。這些堅固的閥使用 316L 不銹鋼制造，采用全通徑設計，適合廣泛的真空應用。
PVMK 閥是快速反應的杠桿操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封圈，可用于提供無油脂的真空環境。這種閥采用鋁或不銹鋼制造，是一種價格低廉、安全可靠的隔離解決方案。
PVPK 閥是快速反應的氣動操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封圈，可用于提供無油脂的真空環境。這種閥帶有直觀和電子的閥狀態指示功能，可以選擇鋁或不銹鋼制造，是一種適合高循環負荷的低價閥。
PVEK 閥是緊湊的輕型電磁閥操作直角隔離閥，帶有波紋管和 O 形密封環，可用于提供無油脂的真空環境。這種閥采用鋁或不銹鋼制造，是一種價格低廉、安全可靠的隔離解決方案。
BRV 閥是手動或氣動執行的前級/粗抽閥。它是一個完整的 3 接口裝置，集獨立的前級/粗抽閥的功能于一身。具備多種控制和指示功能，是一種價格低廉、安全可靠、易于操作的閥。
SIPVP 閥是氣動操作的軟啟動型閥，帶有可更換的孔板，可為湍急氣流會導致微粒污染問題的制程提供受控的制程抽氣。
ISO 帶法蘭插板閥系列可采用多種材料和密封方式，提供極佳的整體密封性和真空完整性，同時具有最高的導電性。這種閥采用氣動或手動執行方式，附帶多種控制和指示功能。
CF 帶法蘭插板閥可采用多種材料和密封方式，提供極佳的整體密封性和真空完整性，同時具有最高的導電性。這種閥采用氣動或手動執行方式，附帶多種控制和指示功能，而且采用可加熱式設計。
BGV 地下室插板閥經過針對性設計，采用簡單、創新的楔形密封系統，消除了傳統插板閥所使用的復雜機械裝置。其優勢包括在真空內不需要油、油脂和移動部件，因此降低了機械裝置被制程中的粉塵污染的風險。
QSB 直角回轉蝶閥是設計緊湊、反應迅速的高導電性隔離閥。采用不銹鋼制造，帶有 O 形密封圈，氣動或手動執行。
進氣閥系列共有三種設計，適合多種應用。從簡單的螺紋塞設計到由電磁閥操作的閥，這些閥可安裝在面板或管道上，是向真空系統進氣的理想產品。 除了進氣閥，Edwards 還提供可安裝在面板或管道上的針閥，用于精細控制真空系統中的進氣。
電控氣動控制閥可用來控制氣動執行的真空閥的運行。控制閥包括 3 接口和 5 接口兩種型號，提供不同的電源電壓和頻率來適合您的應用。
參數
|
名稱 |
類型 |
主體材料 |
閥座的泄漏值 |
通過閥體的泄漏值 |
重量 |
|
AV5A |
吸氣閥 |
HE30 鋁 / 鍍鎳黃銅 |
10-7 mbar ls-1ls-1 |
10-1 mbar ls-1 |
85 g |
|
AV10K |
吸氣閥 |
HE30 鋁 |
10-7 mbar ls-1 |
10-1 mbar ls-1 |
100 g |
|
BGV |
插板閥 |
AISI 304 不銹鋼 |
< 1 x 10-7 mbar ls-1 |
|
3.3-17.7kg |
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BRVPK |
粗抽閥 |
HE 30TF 鋁 |
|
< 10-9 mbar ls-1 |
350-900g |
|
CF |
插板閥 |
AISI 304 不銹鋼 |
|
< 10- 9 mbar l s- 1 |
73 kg |
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IBV |
球閥 |
AISI 316L 不銹鋼 |
|
1 x 10-6 mbar ls-1 |
0.75-4.3kg |
|
IPVA10FK |
吸氣閥 |
鋁 |
|
1 x 10-9 mbar ls-1 |
310g |
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IPVMK |
手動操作隔離閥 |
HE30TF 等級的鋁或 AISI304 等級的不銹鋼 |
|
< 10-9 mbar ls-1 |
180-3300g |
|
ISO |
插板閥 |
AISI 304 不銹鋼 |
|
< 10- 9 mbar l s- 1 |
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LCPVEK |
電磁閥 |
鋁、不銹鋼 |
|
< 1 x 10-6 mbar ls-1 |
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LV10K |
針閥 |
鋁 HE30 |
10-7 mbar ls-1 / 8 x 10-8 Torr ls -1 |
10-7 mbar ls-1 |
138 g |
|
PVEK |
電磁閥 |
HE30TF 鋁 |
|
< 1 x 10-9 mbar ls- 1 |
800g |
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PVPK |
氣動隔離閥 |
HE30TF 鋁 |
|
< 1 x 10-9 mbar ls- 1 |
310-4000g |
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QSB |
蝶閥 |
AISI 304 不銹鋼 |
|
< 10-9 mbar ls-1 |
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SIPV |
軟啟動閥 |
HE30TF 鋁 |
|
10-9 mbar l s- 1 |
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SP |
管線隔離閥 |
符合 BS1490 的鋁合金 |
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10-6 mbar ls-1 |
230-2300g |
