99久久免费精品国产男女性高_国产黄av_国产综合久久久久鬼色_国产午夜大地久久_少妇被又大又粗猛烈进出视频_蜜臀视频一区二区

   當前位置: 首頁>>半導體干泵|英國愛德華真空泵 >>iH系列半導體真空泵

iH系列半導體真空泵

         

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明,可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率,同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本,實現了高的可靠性和性能。
iH
系列為難以執行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD LPCVD 制程)提供了高可靠性。

應用

負載鎖

輸送

計量

平版印刷

PVD 制程

PVD 預清潔

RTA

剝離/灰化

刻蝕

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD 

功能和優勢

優化了設施消耗。

無需預防性維護。

懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。

在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。

耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。

較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。

整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒

堆積,從而降低了總體占地面積。

技術數據

 

iH80

iH160

iH600

iH1000

iH1800

峰值速度

103 m3h-1

165 m3h-1

600 m3h-1

1000 m3h-1

1800 m3h-1

 

61 cfm

97 cfm

353 cfm

589 cfm

1060 cfm

 

1717 l min-1

2750 l min-1

10000 l min-1

16670 l min-1

30000 l min-1

極限真空

1 x 10-2 mbar

1 x 10-2 mbar

7 x 10-4 mbar

1 x 10-3 mbar

1 x 10-3 mbar

 

7.5 x 10-3 Torr

7.5 x 10-3 Torr

5.3 x 10-4 Torr

7.5 x 10-4 Torr

7.5 x 10-4 Torr

 

1 Pa

1 Pa

0.07 Pa

0.1 Pa

0.1 Pa

典型軸封氮流量

4 slm

4 slm

4 slm

4 slm

4 slm

進氣口連接

ISO63

ISO63

ISO100

ISO100

ISO160

出口連接

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

15 psi 壓降下典型冷卻水流量

120 l h-1

120 l h-1

240 l h-1

240 l h-1

240 l h-1

 

2 l min-1

2 l min-1

4 l min-1

4 l min-1

4 l min-1

重量

240 kg

244 kg

415 kg

430 kg

502 kg

極限功率輸入

2.7 kW

3.1 kW

3.4 kW

3.8 kW

4.1 kW

電機額定功率

3.5 kW

5.0 kW

6.1 kW

6.1 kW

7.0 kW

油容量

0.7 l

0.85 l

1.43 l

1.48 l

1.6 l

主站蜘蛛池模板: 1000部啪啪未满十八勿入免费 | 制服肉丝袜亚洲中文字幕 | 国产精品无码免费专区午夜 | 亚洲欧美丝袜精品久久中文字幕 | 少妇无码AV无码专区在线 | 忘忧草www日本高清 一区二区无码免费视频网站 | 天天爱天天做天天添天天欢 | 在线观看免费视频一区 | 亚洲国产无色码在线播放 | 丰满人妻被公侵犯日本 | 夜夜夜夜夜夜久久久久久久 | 麻豆果冻传媒精品国产av | 欧美私人情侣网站 | FREE性中国老太HD | 亚洲浮力影院久久久久久 | 人与性口牲恔配视频免费观看 | 亚洲中文字幕婷婷在线 | 国产AV亚洲精品久久久久久小说 | 久久人人爽爽爽人久久久 | 中文字幕无码日韩欧毛 | 亚洲国产成人久久综合一区久久久国产99 | 日韩视频中文字幕精品偷拍 | 狠狠干狠狠插 | 免费A级毛片中文字幕 | 成人影院免费在线观看 | 91大神暴力调教 | 日本高清中文字幕免费一区二区 | 99久久亚洲精品无码毛片 | 一本色道无码不卡在线观看 | 国产亚洲AV综合人人澡精品 | 久久久久久一区国产精品 | 四虎库影必出精品8848 | 欧洲人免费视频网站在线 | 奇米影视第四色成人网 | 18禁肉肉无遮挡无码网站 | 奇米影视777四色狠狠 | 情侣黄网站免费看 | 久久久97精品国产一区蜜桃 | 国产日产成人免费视频在线观看 | 日韩经典一区二区三区 | 精品人伦一区二区三区潘金莲 |