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概述
Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照最高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時最大程度地減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。
應用
負載鎖
輸送
計量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
功能和優勢
優化了設施消耗。
無需預防性維護。
懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
在節省電機功率的同時最大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒
堆積，從而降低了總體占地面積。
技術數據
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iH80 |
iH160 |
iH600 |
iH1000 |
iH1800 |
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峰值速度 |
103 m3h-1 |
165 m3h-1 |
600 m3h-1 |
1000 m3h-1 |
1800 m3h-1 |
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61 cfm |
97 cfm |
353 cfm |
589 cfm |
1060 cfm |
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1717 l min-1 |
2750 l min-1 |
10000 l min-1 |
16670 l min-1 |
30000 l min-1 |
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極限真空 |
1 x 10-2 mbar |
1 x 10-2 mbar |
7 x 10-4 mbar |
1 x 10-3 mbar |
1 x 10-3 mbar |
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|
7.5 x 10-3 Torr |
7.5 x 10-3 Torr |
5.3 x 10-4 Torr |
7.5 x 10-4 Torr |
7.5 x 10-4 Torr |
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1 Pa |
1 Pa |
0.07 Pa |
0.1 Pa |
0.1 Pa |
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典型軸封氮流量 |
4 slm |
4 slm |
4 slm |
4 slm |
4 slm |
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進氣口連接 |
ISO63 |
ISO63 |
ISO100 |
ISO100 |
ISO160 |
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出口連接 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
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15 psi 壓降下典型冷卻水流量 |
120 l h-1 |
120 l h-1 |
240 l h-1 |
240 l h-1 |
240 l h-1 |
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2 l min-1 |
2 l min-1 |
4 l min-1 |
4 l min-1 |
4 l min-1 |
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重量 |
240 kg |
244 kg |
415 kg |
430 kg |
502 kg |
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極限功率輸入 |
2.7 kW |
3.1 kW |
3.4 kW |
3.8 kW |
4.1 kW |
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電機額定功率 |
3.5 kW |
5.0 kW |
6.1 kW |
6.1 kW |
7.0 kW |
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油容量 |
0.7 l |
0.85 l |
1.43 l |
1.48 l |
1.6 l |
