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熱偶真空計
熱偶真空計由熱偶規管和測量儀表單元組成。圖中是熱偶真空計的真空規管，由熱絲R和熱電偶TC組成，給熱絲加上一個穩定不變的加熱電源，使熱絲發熱，熱絲溫度的高低取決于規管內氣體的多少。當給熱絲加上電壓，它就通過一定的電流而發熱，盡管氣體會帶走一部分熱量，但達到熱平衡時，熱絲仍會保持一定平衡溫度。氣體壓強越高，氣體分子從熱絲上帶走的熱量就越多，平衡溫度便越低。由此可見，熱絲溫度T是氣體壓強P的函數，通過測量出熱電偶TC的熱電勢的大小，來確定熱絲溫度的高低，便可計算出氣體壓強的大小。顯然，熱偶真空計是根據熱電勢的大小來測量真空度的。
熱偶真空計與電阻真空計比較，從結構和使用特性上都有各自的優缺點。電阻真空計結構簡單，但規管受環境因素影響較大，氣體的熱傳導取決于熱絲與管殼之間的溫差，一般用于環境溫度變化不大的場合。熱偶真空計結構.比較復雜，但規管受環境因素較小，因為溫度測量的熱偶兩端都處在規管內部，當外部溫度變化時，兩端同時受到影響，結果熱偶的電勢基本不變。顯然，在環境溫度變化較大的場合，應使用熱偶真空計。
熱偶真空計的使用注意事項
(1)熱偶真空計的校準。熱偶真空計在使用前也需要進行校準，熱偶規管在未開封前真空度已抽至為10^-2~10^-3Pa。將熱偶規管與儀器連接，使管座垂直向上，接通儀器電源開關，預熱10min,“熱偶轉換”開關置“加熱電流”位置，調節“加熱電流”旋鈕，使加熱電流達到規定值(加熱電流標注在每支熱電偶真規管的管座上或使用說明書中)，熱偶真空計指針滿度，持續1min，再將“熱偶選擇”開關放在“測量”位置上，這樣反復測定三次，完成熱偶真空計的校準工作。
(2)在熱偶規管內，氣體導熱是氣體與熱絲碰撞的結果且與熱絲表面狀況有關。因此，應保持管內及熱絲表面狀清潔，一般不要在大氣壓狀態下對熱絲加熱，盡量減少油蒸氣污染。
(3)熱偶規管對電磁場敏感，測量時應避免外界電磁場干擾，如測量中不要使高頻火花移近熱偶規管。
