
電離真空計使用和常見故障判斷處理
電離真空計使用
(1)安裝。安裝使用熱陰極電離計時,“電源”開關置斷位置,用五芯纜線將電離規管與儀器連接,將鱷魚夾子夾在規管的收集極上,香蕉插頭與儀器背面的“離子”座相接。
(2)除氣。打開電源開關,預熱10min,當真空度高于10^-2Pa時,打開“除氣”開關,除氣時間一般為1~2min,在除氣時電離規管的柵極較紅熱。當真空度低于10^-2Pa時,不能進行除氣操作,以防損壞真空規管。除氣完畢后關閉“除氣”開關,打開“測量”開關,進行真空測量。
(3)使用注意事項。
1)當被測系統的真空度低于0. IN時,不能接通電離真空計,否則會燒壞電離真空規管。
2)電離真空計暫時不用時,需斷開電離計電源,否則會影響電離真空規管的壽命。
3)電離規管如果裝在管路上,這時由于管道阻力影響,管路中各點壓力不同。規管安裝距真空泵越近,測得真空度要高些,離泵越遠測得真空度要低些。
4)電離規管的放氣和吸氣都會造成氣體壓強的變化,影響測量的準確度,在測量前一定要進行除氣操作。
5)測量的靈敏度與氣體的種類有關。
6)電離規管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣進行烘烤時,柵極和陰極易產生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。
7)在不要求連續記錄真空度隨時間變化的場合,應注意隨時關掉電離規管燈絲開關,在真空度較低時更應如此,以延長燈絲的使用壽命。
電離真空計常見故障判斷處理
以下給出了電離真空計常見故障和處理方法,部分內容也可供檢查其他類型真空計故障時參考。
故障現象一:規管燈絲不能點亮
解決方案:(1)檢查規管燈絲是否斷開;
(2)檢查規管連線是否接好;
(3)檢查規管連接線是否錯接;
(4)檢查電源是否接通
故障現象二:儀器不顯示
解決方案:(1)檢查離子收集極是否接好;
(2)檢查規管是否點亮;
(3)用手點觸離子收集極,顯示是否反應,反應為正常,不反應則真空計本身出現故障;
(4)確認真空系統是否超過測最范圍
故障現象三:顯示數值不穩定
解決方案:(1)檢查離子收集極是否與系統其他物體有接觸;
(2)取下離子收集極.丑于懸空狀態,顯示是否穩定;若不穩定則是真空計本身出現問題;若穩定,則說明是真空系統漏氣所致;
(3)用未開封的真空規管點亮,測其真空度,顯示是否穩定,若不穩定則是真空計本身出現問題;若穩定,則說明是真空系統漏氣所致