
真空閥門的用途及分類
真空閥門的作用
在真空系統中,用來切斷或接通氣路,改變氣流方向,調節氣流量大小及定量供氣的真空元件稱為真空閥門。對真空閥門的基本要求是不漏氣,具有大的流導,且自身放氣率小。真空閥門主要由開啟/關閉裝置、操作裝置及密封裝置構成。開啟/關閉裝置在關閉時密封性要好。操作裝置分為手動、電動、電磁、氣動控制等,要求操作方便且不漏氣。密封裝置保證閥Iii、進行關閉或打開操作時不漏氣。
真空閥門的種類
真空閥門的種類繁多,通常按閥門的結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類,其分類見如下。國家標準對真空閥門的型號及編制方法都作了規定,可查閱有關標準。
真空閥門分類
分類方法:閥門種類 名稱:低真空閥門、高真空閥門、超高真空閥門
分類方法:結構形式 名稱:擋板閥、翻板閥、蝶閥、隔板閥、針閥、插板閥
分類方法:驅動方式 名稱:手動閥、電動閥、電磁閥、氣動閥、液壓閥
分類方法:材料 名稱:金屬真空閥、玻璃真空活塞、塑料閥
分類方法:用途 名稱:截止閥、隔離閥、放氣閥、節流閥、換向閥
分類方法:通道方式 名稱:腳閥、直通閥、雙通閥、三通閥 、四通閥
常用真空閥門
(1)真空隔膜閥。真空隔膜閥的漏率小于6.7×10^-4Pa·L/s。
1-手輪;2-螺桿;3-隔膜
圖一是真空隔膜閥結構示意圖,利用螺桿2將彈性體隔膜3緊壓在底座上來隔斷氣路。利用手輪I轉動螺桿帶動隔膜上、下移動,使隔膜離開底座打開閥門或使隔膜緊壓在底座上關閉閥門。隔膜閥適用于前級閥,安裝在預抽真空管道上。隔膜多采用丁晴橡膠,使用溫度一般為-25~80℃之間,如采用氟橡膠隔膜,也可用于高真空系統,溫度范圍擴大為-30~150`C。適用于非腐蝕性氣體。
(2)真空球閥。真空球閥的漏率小于1.3 ×10^-3Pa·L/s。
1-手柄;2-金屬球;3-0形圈;4-彈性體;5-通孔
圖二是真空球閥的結構,閥門的開關靠中間的金屬球2轉動,金屬球上有一個通孔5,借助于手柄1轉動金屬球使通孔改變方向,即可接通或切斷氣路。兩個環狀彈性體4緊壓于一個金屬球表面構成金屬球密封,金屬球軸桿與閥體間采用0形密封圈3密封。
(3)真空碟閥。碟閥的漏率小于1.3×10^-7Pa·L/s,結構比較簡單,是真空系統最常用的閥門。閥盤的邊緣上嵌有0形密封圈,閥盤被螺栓固定在傳動軸閥桿上,使閥桿帶動閥板轉動,當閥盤上的密封圈與閥體緊密接觸時即實現了閥門的關閉,從關閉位置閥板再轉動90。時,閥門即完全打開。碟閥的主要優點是體積小,結構簡單。
(4)真空插板閥。真空插板閥的漏率小于1.3×10^-7Pa·L/s,其結構有多種形式。彈性體密封圈嵌在插板2上。轉動手柄1使插板上下滑動,即可打開或關閉閥門,圖中是插板閥關閉時的位置。
(5)真空擋板閥。擋板閥又稱蓋板閥,漏率小于1.3×10^-7Pa·L/s。
圖三是一種擋板閥的結構,該閥通過擋板2的上升和壓下來實現管路的接通和截止。轉動手柄1使擋板上下移動,即可打開或關閉閥門。
(6)真空翻板閥。在閥門打開或關閉的過程中,翻板的運動有一個翻轉過程。真空翻板閥的開關一般都是用壓縮空氣為動力源。
(7)電磁真空閥。電磁真空閥的密封機構與擋板閥相同,只是開啟或關閉由磁鐵驅動。在斷電的情況下,蓋板1被彈簧2壓緊而關閉閥門,需要開啟時,將電磁線圈3接通電流,鐵芯4帶動蓋板,將閥門打開。電磁真空閥與真空泵可以接在同一電源上,泵的啟動與停止直接控制了閥的開啟與關閉,實現閥與泵聯動。當泵停止工作或電源突然中斷時,閥能自動將真空管路封閉,并將大氣通過泵的進氣口充人泵腔,避免泵油返流污染真空系統。
(8)針閥。針閥又稱真空微調閥,其漏率小于1.3×10^-6Pa·L/s。微調閥針2使閥口開啟逐漸變大,通過氣體的流量也逐漸變大,實現流m的連續調節。圖中的閥針與閥體間的密封是用波紋管實現的。