當前位置： 首頁>>真空知識>>氦質譜檢漏 氦質譜檢漏
氦質譜檢漏技術是真空檢漏領域里不可缺少的一種技術，由于檢漏效率高，簡便易操作，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應用。氦質譜檢漏儀是根據質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。質譜室里的燈絲發射出來的電子，在室內來回地振蕩，并與室內氣體和經漏孔進人室內的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中最常用的兩種方法。
(1)噴氦法。噴氦法是最常用的一種負壓檢漏方法，如圖一中所示。
1一氦氣罐；2一噴嘴；3一規管；4一檢漏儀；5一機械泵；6一擴散泵
將電阻爐真空系統與檢漏儀連通，電阻爐抽好真空后，在可能存在漏孔的地方，如密封接頭，焊縫，爐蓋密封處等，用噴槍噴氦。如果真空系統某處存在漏孔，當氦噴到漏孔上時，氦氣立即會被吸人到真空系統并擴散到質譜室中，氦質譜檢漏儀的輸出就會立即有響應，從而檢查出漏孔的位置。氦氣是較輕的惰性氣體，噴出后會自動上升。
為了準確檢測漏孔位置，噴氦時應自上而下，相對檢漏儀由近至遠，這是因為在噴下方時氦氣有可能被上方漏孔吸人，就很難確定漏孔的位置;再者漏孔離質譜室的距離不同，檢漏儀反應時間也不同，所以噴氦應先從靠近檢漏儀的一側開始由近至遠來進行。
(2)吸氦法。
1一檢漏儀；2一噴嘴；3一規管；4一機械泵；5一擴散泵
吸氦法屬于正壓檢漏方法，先將真空電阻爐爐腔抽成真空，再給充人氦氣，在氦質譜檢漏儀的進氣法蘭處接上橡皮管，如圖二所示，橡皮管的前端有直徑很小的毛細管，使毛細管在充了氦的真空系統外壁的焊縫和密封接頭等處移動，如果爐子存在有漏孔，經漏孔滲出的氦氣就會被毛細管吸人，檢漏儀就會響應，從而判別漏孔的位置。
關于真空的幾個思考題如下：
1.真空的基本特征是什么?、
2.國際單位制中的真空度單位是怎樣定義的?
3.常用真空度單位有幾個?
4.絕對真空計和相對真空計的主要區別是什么?
5.真空壓力表是根據什么原理測量壓力的?
6.使用真空壓力表應注意哪些問題?
7.什么是熱傳導真空計?
8.怎樣對熱電阻真空計的“零點”和“滿度”進行校準?
9.怎樣對熱電偶真空計的“工作電流”進行校準?
10.簡述熱陰極電離規管的結構。
11.試問熱陰極電離真空計在使用中應注意哪些問題?
12.為什么要對電離規管進行“除氣”?
13.真空電阻爐常用的真空檢漏方法有幾種類型?
14.利用氮質譜檢漏時，噴氮法檢漏的要點是什么?
