
nXDS渦旋干泵
概述
nXDSi 是下一代完全無油的干式渦旋泵,并取代 XDS。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了領(lǐng)先的端部密封技術(shù),顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 可完全進(jìn)行現(xiàn)場維修。
用途
一般清潔泵送應(yīng)用
電子掃描顯微鏡 - SEM
射束線和高能物理
前級渦輪泵
超高速離心機(jī)
覆層
低溫學(xué)
脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂
蒸餾/萃取/過濾
冷凍干燥
熔爐
凝膠體干燥
實驗室工作臺上真空
激光、氣體回收和再循環(huán)
氦檢漏儀
負(fù)載鎖和傳輸腔
稀有氣體再循環(huán)
稀有氣體回收
冷凍制造
研發(fā)
旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器
SEM/FIB(離子束維修)
溶劑回收
表面科學(xué)儀器
特性與優(yōu)勢
真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染
無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運(yùn)行,使用時間更長
簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需最低程度的特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本,盡可能延長正常運(yùn)行時間
改進(jìn)了電機(jī)和傳動效率,可降低功耗和運(yùn)行成本
先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視
技術(shù)數(shù)據(jù)
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度 |
1800 rpm |
1800 rpm |
1800 rpm |
1800 rpm |
排量 |
6.8 m3h-1 |
12.7 m3h-1 |
17.1 m3h-1 |
28.0 m3h-1 |
峰值抽速 |
6.2 m3h-1 |
11.4 m3h-1 |
15.1 m3h-1 |
22.0 m3h-1 |
極限真空(總壓力) |
0.020 mbar |
0.007 mbar |
0.007 mbar |
0.030 mbar |
最小待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 |
1200 rpm |
1200 rpm |
1200 rpm |
1200 rpm |
速度控制精度 |
|
|
|
|
(以全速百分比表示) |
1% |
1% |
1% |
1% |
最小轉(zhuǎn)速時的抽速 |
4.1 |
7.5 |
9.9 |
10 |
最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力 |
200 mbar |
200 mbar |
200 mbar |
50 mbar |
電機(jī)功率(一相) |
260 W |
280 W |
300 W |
260 W |
電源連接器(1 相) |
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C13 |
IEC EN60320 C13 |
推薦保險絲 |
10A,250Vac rms |
10A,250Vac rms |
10A,250Vac rms |
10A,250Vac rms |
重量 |
26.2 kg / 58 lb |
25.8 kg / 57 lb |
25.2 kg / 56 lb |
25.6 kg / 56 lb |
入口法蘭 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
排氣口法蘭 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
噪音級別 |
52 dB(A) |
52 dB(A) |
52 dB(A) |
52 dB(A) |
入口法蘭處抗振性 |
< 4.5 mms-1 (rms) |
< 4.5 mms-1 (rms) |
< 4.5 mms-1 (rms) |
< 4.5 mms-1 (rms) |
密封性(靜態(tài)) |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
< 1x10-6 mbar ls-1 |
工作溫度范圍 |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |
10 至 40 °C / 41 至 104 °F |