常見的三種真空法蘭規格（CF、 KF、ISO)

1.CF法蘭的英文名是Conflat Flang。它是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤。
                             

2.ISO-KF是應用在真空系統中的一種快速裝拆連接。他由以下幾個元件構成：兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具，只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以松開或壓緊聯接。
                    

3. ISO法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空，經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過50mm（2英寸）。如果使用氟橡膠O形圈，可以承受150℃烘烤。