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真空泵類型
旋片式真空泵
液環式真空泵
渦旋干泵
羅茨泵
隔膜真空泵
擴散泵
渦輪分子泵
工業干泵
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真空連接件
真空泵過濾器
真空泵油
真空泵維修
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真空區域劃分
真空區域劃分
真空區域
壓強范圍
托
(Torr)
帕
(Pa)
低真空
760~10
101325~1333
中真空
10~10
-3
1333~1.33×10
-1
高真空
10-3~10
-8
1.33×10
-1
~10
-6
超高真空
10
-8
~10
-12
10
-6
~10
-10
極高真空
<
10
-12
<
10
-10
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