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BOC Edwards：覆蓋全球市場 聚焦中國客戶
BOC Edwards在SEMICONCHINA2007重點展示了其最新一代氣體凈化處理系統(tǒng)ATLAS系列產(chǎn)品線。該系統(tǒng)使用NF3氣體及等離子體處理技術(shù)，能夠以較低的成本處理包括增強(qiáng)型等離子化學(xué)氣相淀積、高密度等離子化學(xué)氣相淀積、鎢化學(xué)氣相淀積在內(nèi)的各類化學(xué)氣相淀積工藝排放的氣體。設(shè)備可以凈化處理包括氟、硅烷、四乙基原硅酸鹽、六氟化鎢、氨氣等各類氣體。ATLAS的操作工序包括燃燒處理（該項內(nèi)燃燒技術(shù)已被廣泛認(rèn)可）和兩步濕法清洗處理，它可以滿足廢氣、粉塵處理的各項需求，并且具備優(yōu)異的耐腐蝕能力。ATLAS支持多達(dá)6路氣體輸入并具有包括溫控系統(tǒng)在內(nèi)的多種可選配件。AtlasTPU系統(tǒng)可以進(jìn)行PFC和ClF3氣體處理；AtlasKronis可以進(jìn)行低K材料CVD工藝排氣處理。通過降低額外組件的數(shù)量，整套價值引導(dǎo)的產(chǎn)品具有與BOC其他產(chǎn)品同樣卓越的性能和核心可靠性，但資本成本更低，極大地降低了購置成本。據(jù)BOCEdwards中國區(qū)總經(jīng)理許堅介紹，BOC目前的業(yè)務(wù)主要分為半導(dǎo)體設(shè)備和一般真空系統(tǒng)兩大塊。由于2006年全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)成長和投資加大，BOC半導(dǎo)體設(shè)備部門全球銷售額超過10億美元，比上年增長了25％；隨著亞洲地區(qū)工業(yè)化進(jìn)程加快，BOC一般真空系統(tǒng)業(yè)務(wù)也在不斷增長。同時，由于Hynix-ST200和300mm存儲器芯片前端制造廠開業(yè)、中芯國際300mm晶圓廠量產(chǎn)以及國內(nèi)TFT-LCD事業(yè)的迅速發(fā)展等，BOC中國區(qū)業(yè)務(wù)也實現(xiàn)了翻番。
對于在中國市場的成功經(jīng)驗，許堅總結(jié)了兩點：一是貼近客戶，半導(dǎo)體業(yè)設(shè)備投資巨大，對其穩(wěn)定性要求非常高，作為供應(yīng)商需要緊緊跟隨客戶需求提供一整套的服務(wù)和on-site支持，讓客戶更好的集中于芯片制造，從本質(zhì)上為客戶實現(xiàn)成本控制和高運(yùn)行效率；二是在中國建立完善的供應(yīng)和服務(wù)系統(tǒng)，鑒于中國半導(dǎo)體制造業(yè)分散化的特點，目前BOC在國內(nèi)建立了多個分公司的服務(wù)和供應(yīng)網(wǎng)絡(luò)，及時應(yīng)對客戶需求。據(jù)介紹，座落于上海外高橋保稅區(qū)的比歐西貿(mào)易（上海）有限公司擁有一個大型維修中心，占地8500平方米，其中辦公室用地100平方米，維修車間及真空產(chǎn)品倉庫用地2000平方米，而氣體倉庫用地為700平方米。維修中心能夠提供全面的銷售及維修服務(wù)，并由一個完善的管理架構(gòu)作支持。除此之外，這服務(wù)中心的設(shè)計和建造是遵照比歐西愛得華的統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計及建造，而且嚴(yán)格遵照比歐西愛德華的服務(wù)標(biāo)準(zhǔn)和運(yùn)行要求。
許堅指出，隨著半導(dǎo)體及相關(guān)工業(yè)向更先進(jìn)工藝的推進(jìn)，行業(yè)對真空設(shè)備提出了更高的要求。真空設(shè)備需要更高的可靠性以減少生產(chǎn)的故障率；能源的昂貴和工廠資本高投入，需要通過新技術(shù)和新產(chǎn)品的開發(fā)來降低運(yùn)行成本和擁有成本；半導(dǎo)體制造設(shè)備持續(xù)變大，大設(shè)備需要大的抽氣量和快速達(dá)到真空度要求。對于尾氣處理系統(tǒng)而言，許堅認(rèn)為，目前國內(nèi)加大了對環(huán)保的重視，對廢氣排放要求變得嚴(yán)格，同時，客戶對于環(huán)境和安全意識加重，對毒性和易燃性廢氣的排放也提出了更高的要求。
談及未來BOC在中國的發(fā)展，許堅指著背后的“覆蓋全球，聚焦中國”標(biāo)語介紹道，BOCEdwards還將繼續(xù)對中國業(yè)務(wù)進(jìn)行新的大型投資，加強(qiáng)服務(wù)體系的建設(shè)，并計劃在北京、深圳和成都三地擴(kuò)大規(guī)模。在過去與制造商的合作中積累了大量的應(yīng)對300mm和先進(jìn)工藝的經(jīng)驗，并將之引入國內(nèi)，另外，繼續(xù)加強(qiáng)同業(yè)內(nèi)領(lǐng)先供應(yīng)商如應(yīng)用材料共同開發(fā)適應(yīng)市場需求的設(shè)備，許堅相信BOCEdwards在國內(nèi)的業(yè)務(wù)仍將持續(xù)成長。
