真空泵是結晶硅和太陽能電池制造過程中的重要基礎設備，用于從硅片成形到最終層壓的重要制程。基于第5代和第8代玻璃的薄膜太陽能電池對真空的要求比基于硅的電池幾乎要高出6倍，并對有毒和PFC廢氣的減排提出更大挑戰。有著90多年歷史的Edwards公司，今年7月獲得2011年SEMICON West可持續技術獎，就是對其不斷創新能力的充分肯定。

Edwards亞太區總裁Neil Lavender-Jones稱，Edwards是唯一能為全球范圍太陽能電池制造商提供廣泛的真空和尾氣處理設備系列的制造商，其設備用于太陽能電池和LED制造的多個工藝階段。Edwards的工藝和專有技術涵蓋晶體和薄膜光伏(PV)太陽能行業，并致力于服務太陽能行業，投資開發環保技術，降低發電成本。Edwards擁有豐富多樣的適用于太陽能行業與生物燃料行業的真空產品，并提供支撐這些新興技術制程所需的所有真空專業技能。

Edwards面向太陽能設備制造應用開發出iXH真空泵系列產品，以應對光伏行業面臨環境、健康和安全的挑戰。在太陽能電池的制造過程中，需要使用泵機抽取輸送大量的氫氣，而iXH系列在設計上采用緊湊、經濟、節能且易于配置的模塊化系統，能夠同時滿足硅及薄膜太陽能電池制造的泵機抽取輸送需求，解決了在針對太陽能電池制造沉積TCO薄膜中涉及的泵難題，結合Edwards的iXH干泵系統與分子真空泵和減排系統，便能為太陽能設備制造提供種類齊全的泵機抽取輸送與廢氣管理產品體系。

氫氣分子體積小、粘性低，用泵機很難抽取輸送。iXH泵送系統使用了一系列大容量泵機與增壓泵，以達到有效抽取輸送氫氣所需的最佳壓縮比。該系統采用模塊化設計，各部件可上下堆疊，從而實現業界最小的占地面積，且具備高度可配置性，既滿足了硅或薄膜類太陽能設備的現場安裝要求，又符合其制造工藝的性能標準。

根據具體的應用要求而配置的多個iXH模塊，由同一個控制器進行管理，對于操作員而言，它們是一個易于使用、完美集成的真空系統。在泵送系統的使用壽命周期內，使用Edwards的新型iXH干泵便不需進行預防性維護，從而幫助進一步降低系統擁有成本。Neil表示，面向半導體與太陽能光伏制造業的FabWorks監視與分析系統，借助FabWorks V2軟件所提升的工廠效率能在一年之內收回軟件的安裝成本。

為太陽能光伏制造選擇合適的真空和減排技術，可降低先期成本、能耗、維護要求、排放并提高了操作人員的安全性。FabWorks V2是一個許可軟件包，可以集成于服務合同中。Neil介紹，FabWorks V2是一個網絡服務器，可以同時支持LonWorks?設備與以太網設備，一個預裝了FabWorks V2的服務器最多能監視3000個設備（如泵機與減排系統設備）。FabWorks V2還提供多個選項，能進一步縮減工廠運行成本并提供高價值服務。其中包括Edwards的高級診斷服務(ADS)、智能警報功能(通過傳呼機/電子郵件/短信與RSS發送警報）、開放式連接（通過GEM/SECSII或OPC)及定制報告。

ADS可以降低工具總擁有成本，避免工藝中發生系統停頓，幫助客戶延長正常運行時間，而系統停頓會降低良品率，從而影響產量。該服務能夠進一步幫助用戶優化其維護成本。

高級的制程真空和減排成套技術及優質的全球服務，為太陽能市場貢獻自己的力量。新產品將專注于減少晶體硅(c-Si)和薄膜PV太陽能電池的每瓦制造成本。

市場上存在不同類型的太陽能電池，但所有的制造過程均使用真空和減排技術，太陽能光伏制造業在世界各地的快速發展，推動了高級真空和減排解決方案在各個地區市場中的增長。Neil稱，Edwards在真空和減排市場上均處于領先地位，為客戶提供有助于降低每瓦晶體硅電池和薄膜電池成本的創新設備和集成解決方案。

Neil表示，晶體硅及薄膜太陽能電池生產需要基于真空的解決方案，太陽能電池板成本進一步降低技術則是關鍵，而領先的真空技術、緊密的團隊合作及與客戶間的相互信任，是Edwards得到中國用戶認可的關鍵要素，Edwards與中國市場共成長。