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概述
iGX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內保持連續一致的泵送能力。
iGX 干泵包括以太網連接功能，允許通過網頁查看主要數據，另外還包括一套全面的網絡選項，可確保泵持續運轉。
iGX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載的各種工藝。模塊化設計允許用戶對 iGX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。
應用
負載鎖
輸送
計量
功能和優勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設施成本最多可降低 50%
無需預防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的最快的負載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
技術數據
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峰值速度 |
105 m3h-1 |
620 m3h-1 |
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62 cfm |
365 cfm |
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1750 l min-1 |
10333 l min-1 |
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極限壓力 |
5.00E-03 mbar |
7.00E-04 mbar |
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3.75E-03 Torr |
5.25E-04 Torr |
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0.50 Pa |
0.07 Pa |
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AUC（有源設備控制器） |
0.05 kW |
0.05 kW |
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水入口* |
1 slm |
2 slm |
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氮 |
0 slm |
0 slm |
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占地面積（不包括排氣裝置） |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
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重量 |
120 kg |
220 kg |
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進氣口連接 |
ISO63 |
ISO100 |
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出口連接 |
NW25 |
NW25 |
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極限噪音 |
< 55 dB(A) |
< 55 dB(A) |
