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概要
GX 干式真空泵系列為大修之間零維護樹立了新標準。 效率提高的同時降低了運行成本，并在整個壓力范圍內保持連續一致的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范圍很寬，并可以改變以適合各種應用條件，包括從清潔到中等負載制程。 模塊化設計允許用戶對 GX 干泵進行配置以適合各個工廠的要求。 超緊湊的占地面積允許使用包括工具上、近程和遠程在內的多種安裝選項。
應用
負載鎖
輸送
計量
功能和優勢
低運行成本
與 iL/iH 干泵相比，設施成本最多可降低 50%
無需預防性維護
靈活的安裝選項
小巧輕便，便于安裝
工具上、近程或遠程
可以改進工具吞吐量
可用的最快的負載鎖定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了環境噪音
僅 55 dB(A)
峰值速度范圍寬
100、300、600 和 800 m3h-1
技術數據
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GX100 |
GX600 |
GX1000 |
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性能 |
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峰值速度 |
105 m3h-1 |
620 m3h-1 |
800 m3h-1 |
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62 ft3min-1 |
365 ft3min-1 |
471 ft3min-1 |
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1750 lmin-1 |
10333 lmin-1 |
13333 lmin-1 |
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極限壓力 |
5 x 10-3 mbar |
7 x 10 -4 mbar |
1 x 10-3 mbar |
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3.75 x 10-3 Torr |
5.25 x 10-4 Torr |
7.5 x 10-4 Torr |
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0.5 Pa |
0.07 Pa |
0.10 Pa |
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700 Torr 排氣壓力下的極限 |
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功率 |
1 kW |
1.6 kW |
1.6 kW |
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AUC（有源設備控制器） |
0.05 kW |
0.05 kW |
1.05 kW |
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水* |
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水入口 |
1 slm |
2 slm |
2 slm |
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氮氣 |
0 slm |
0 slm |
4 或 14 slm ** |
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安裝詳細信息 |
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占地面積（不包括排氣裝置） |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
0.20 m2 |
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重量 |
120 kg |
220 kg |
230 kg |
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入口連接 |
ISO 63 |
ISO 100 |
ISO 100 |
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出口連接 |
NW25 |
NW25 |
NW25 |
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極限噪音 |
<55 dB(A) |
<55 dB(A) |
<55 dB(A) |
