
高吞吐量擴散泵
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概述
HT 高吞吐量系列是我們擴散泵產品中的頂尖產品,采用專門針對工業級用戶的技術制造。?
Edwards HT擴散泵可用于所有高、低負荷的工業應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供極高的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以保證制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供極高的吞吐量(壓力乘以抽速),非常適合涉及大量氣體的工業制程。
應用
真空冶金
蒸餾、干燥和脫氣
薄膜覆層和噴鍍
大型研究活動
功能和優勢
與同等尺寸的泵相比,吞吐量最高
與同等尺寸的泵相比,轉換壓力最快
極佳的最大前級壓力和對氣體激增的耐受性
與同等尺寸的泵相比,具有無可比擬的抽速
集成的冷卻帽,可實現最佳性能和極低的回流
針對超低壓的自行分餾
易于更換的加熱器組件
半功率節能待機模式
油位觀察窗為標準配置
技術數據
? |
HT10 |
HT16B |
相對抽速(ls-1) |
4650 |
11580 |
ISO 抽速(ls-1) |
? |
? |
? 氮氣 |
3000 |
6500 |
? 氦氣 |
4650 |
7200 |
AVS 泵送(ls-1) |
? |
? |
? 氮氣 |
3330 |
7220 |
? 氦氣 |
5165 |
8000 |
最大吞吐量(氮氣)(m bar ls-1/ Torr ls-1) |
10 /7.5 |
18 / 13.5 |
臨界前級壓力 (DC704EU)(mbar / Torr) |
1.1 / 0.8 |
1.4 / 1 |
最大吞吐量時的最小前級泵排量(m3h-1/ ft3min-1) |
60 /35 |
94 / 55 |
推薦的前級泵? |
GV80,E2M80 |
GV80,GXS250,E2M175 |
推薦的液體 |
DC704EU |
DC704EU |
液體充填量(干)(ml / qt) |
1250 l / 1.3 |
2400 / 2.5 |
進氣口/前級連接 |
ANSI10/ANSI2 或 EO12 inch/EO130 mm 或 ISO320/ISO63 |
ANSI16/ANSI3 或 ?ISO500/ISO100 |
水接頭 |
3/8 英寸 NPT 母頭 | |
加熱器功率(kW/hp) |
5.1 /6.8 |
9 /12 |
預熱時間(min) |
30 |
60 |
25°C 時的最小冷卻水流速(l h-1 / ?US gal min-1) |
400/ 1.8 |
700/ 3.1 |
冷卻水供給源兩端的壓力降(bar /psi) |
1 /14.5 |
1 /14.5 |
重量(kg / lbs ) |
80 / 176 |
185 / 408 |