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高吞吐量擴散泵

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概述

HT 高吞吐量系列是我們擴散泵產品中的頂尖產品,采用專門針對工業級用戶的技術制造。?
Edwards HT擴散泵可用于所有高、低負荷的工業應用。構造堅固,即使在高壓條件下也提供極高的抽速。機械加工的鑄造鋁制內核可提供穩定的性能,不銹鋼的泵體具有防腐蝕的特性,可以保證制程清潔度。這些泵可在 4 × 10-3 mbar 時提供極高的吞吐量(壓力乘以抽速),非常適合涉及大量氣體的工業制程。

應用

真空冶金

蒸餾、干燥和脫氣

薄膜覆層和噴鍍

大型研究活動

功能和優勢

與同等尺寸的泵相比,吞吐量最高

與同等尺寸的泵相比,轉換壓力最快

極佳的最大前級壓力和對氣體激增的耐受性

與同等尺寸的泵相比,具有無可比擬的抽速

集成的冷卻帽,可實現最佳性能和極低的回流

針對超低壓的自行分餾

易于更換的加熱器組件

半功率節能待機模式

油位觀察窗為標準配置

技術數據

?

HT10

HT16B

相對抽速(ls-1)

4650

11580

ISO 抽速(ls-1)

?

?

? 氮氣

3000

6500

? 氦氣

4650

7200

AVS 泵送(ls-1)

?

?

? 氮氣

3330

7220

? 氦氣

5165

8000

最大吞吐量(氮氣)(m bar ls-1/ Torr ls-1)

10 /7.5

18 / 13.5

臨界前級壓力 (DC704EU)(mbar / Torr)

1.1 / 0.8

1.4 / 1

最大吞吐量時的最小前級泵排量(m3h-1/ ft3min-1

60 /35

94 / 55

推薦的前級泵?

GV80,E2M80

GV80,GXS250,E2M175

推薦的液體

DC704EU

DC704EU

液體充填量(干)(ml / qt)

1250 l / 1.3

2400 / 2.5

進氣口/前級連接

ANSI10/ANSI2 或

EO12 inch/EO130 mm

或 ISO320/ISO63

ANSI16/ANSI3 或

?ISO500/ISO100

水接頭

3/8 英寸 NPT 母頭

加熱器功率(kW/hp)

5.1 /6.8

9 /12

預熱時間(min)

30

60

25°C 時的最小冷卻水流速(l h-1 / ?US gal min-1

400/ 1.8

700/ 3.1

冷卻水供給源兩端的壓力降(bar /psi)

1 /14.5

1 /14.5

重量(kg / lbs )

80 / 176

185 / 408

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